مصنع نظام التحكم في تدفق الهواء لإنتاج أشباه الموصلات لإدارة التلوث واستقرار الغرف النظيفة
يعد الحفاظ على استقرار تدفق الهواء والتحكم في مستويات التلوث من أكثر التحديات الهندسية أهمية في إنتاج أشباه الموصلات. بصفتها شركة رائدة في تصنيع أنظمة التحكم في تدفق الهواء لإنتاج أشباه الموصلات، تقدم Farclean حلولاً متكاملة تدعم مصانع الرقائق، وغرف الطباعة الضوئية، ومناطق CMP، وخطوط التغليف بدقة واستقرار بيئي عالي.
لماذا يعتبر التحكم في تدفق الهواء أمرًا أساسيًا لغرف نظيفة أشباه الموصلات
تشمل عملية تصنيع أشباه الموصلات عمليات فائقة الحساسية مثل الطباعة الضوئية، والنقش، والترسيب، حيث يمكن لجسيم واحد بحجم ميكرون أن يدمر الرقاقة بالكامل. يضمن نظام التحكم في تدفق الهواء المصمم جيدًا ما يلي:
- مناطق نظيفة مصنفة حسب ISO مع استقرار عالي لتركيز الجسيمات
- أنماط تدفق هواء صفائحي تمنع الاضطراب حول المعدات الحرجة
- ثبات الفرق في الضغط بين الغرف لتجنب التلوث المتبادل
- استقرار دقيق في درجة الحرارة والرطوبة لضمان موثوقية العملية
- تقليل معدلات العيوب وزيادة إنتاجية أشباه الموصلات
نظام تحكم متكامل في تدفق الهواء لإنتاج أشباه الموصلات
تقدم Farclean أنظمة تحكم في تدفق الهواء للغرف النظيفة مصممة خصيصًا لمصانع أشباه الموصلات. تدمج هذه الأنظمة:
- وحدات الترشيح FFU/HEPA/ULPA لتوفير نقاء هواء من ISO 3 إلى ISO 6
- أنظمة التدفق الصفائحي لمناطق الطباعة الضوئية والتغطية
- إدارة الضغط الديناميكية مع مراقبة المستشعرات في الوقت الحقيقي
- إعادة تدوير الهواء مع تحسين استهلاك الطاقة لتقليل تكاليف التشغيل
- تكييف درجة الحرارة والرطوبة وفق مواصفات عملية أشباه الموصلات
إدارة التلوث واستقرار الغرف النظيفة
يجب ألا تقوم غرفة نظيفة لأشباه الموصلات فقط بترشيح الجسيمات، بل يجب أيضًا الحفاظ على انتظام تدفق الهواء وتوازن الضغط. تشمل أنظمة إدارة التلوث من Farclean:
- تقسيم تدفق الهواء لعزل الخطوات الحرجة عن المناطق العامة
- التحكم التلقائي في ضغط الغرف لمناطق التعامل مع المواد الكيميائية بأمان
- مراقبة بيئة الغرفة النظيفة في الوقت الحقيقي
- أنظمة توزيع الهواء مصممة لتقليل الاضطراب بالقرب من الأدوات
تعمل هذه الأساليب الهندسية على تحسين استقرار العمليات في الطباعة الضوئية، والترسيب، والنقش، وعمليات CMP.
لماذا اختيار شركة مصنعة لأنظمة غرف نظيفة لأشباه الموصلات؟
يضمن اختيار شركة مصنعة لنظام التحكم في تدفق الهواء بدلاً من شراء المكونات بشكل منفصل:
- معايير هندسية موحدة عبر مناطق الغرف النظيفة
- إدارة أفضل للتلوث من خلال تصميم النظام المتناسق
- استهلاك طاقة منخفض مع تحسين معالجة الهواء
- موثوقية طويلة الأمد وصيانة مبسطة
- دعم فني شامل لكل من المعدات ودمج النظام
تواصل للحصول على أنظمة التحكم في تدفق الهواء لغرف أشباه الموصلات
إذا كانت منشأتك لإنتاج أشباه الموصلات تحتاج إلى استقرار تدفق الهواء، أو التحكم في التلوث، أو نظام غرفة نظيفة متكامل، تقدم Farclean التصميم الكامل والهندسة والدعم الفني العالمي. نساعد مصانع الرقائق في تحقيق بيئات إنتاج مستقرة، ومتوافقة، وعالية الإنتاجية.
