Semiconductor Cleanroom Project | Soluciones de ingeniería y diseño llave en mano

Proyecto de Sala Limpia para Semiconductores — Solución de Ingeniería Típica

A continuación se presenta una solución de ingeniería típica para un proyecto de sala limpia de semiconductores, diseñada para mostrar las capacidades de diseño y la experiencia en ingeniería de Farclean. Todos los parámetros del proyecto son ilustrativos y pueden personalizarse según los requisitos del cliente.

Resumen del Proyecto

• Industria: Fabricación de Semiconductores / CI
• Nivel de Limpieza Típico: ISO 14644 Clase 100–1000
• Área Ilustrativa: 2,000㎡ (escalable según necesidades del cliente)
• Sistemas Principales: HVAC, FFU, filtros HEPA/ULPA, ducha de aire, pass box, paneles de sala limpia, sistema de monitoreo
• Alcance: Diseño → Selección de Materiales → Planificación de Distribución → Simulación de Ingeniería → Guía de Puesta en Marcha

Aspectos Destacados del Diseño de Esta Sala Limpia de Semiconductores

1. Control de Flujo de Aire y Contaminación según ISO 14644

El diseño demuestra una distribución de flujo laminar estable para minimizar turbulencias y mantener niveles bajos de partículas en áreas críticas. Las características clave incluyen:

• Filtración ULPA / HEPA H14
• Control inteligente de diferencial de presión
• Canales de retorno optimizados para eliminación rápida de partículas

2. Estabilidad de Temperatura y Humedad

Para cumplir con los requisitos de procesos de litografía y deposición, la solución típica puede lograr:

• Control de temperatura ±0,2°C
• Control de humedad 40%–50% RH
• Control localizado de microambiente para zonas críticas de recubrimiento

3. Control de Contaminación Electroestática y Molecular

• Pavimentos ESD y materiales de construcción antiestáticos
• Filtración activa de contaminación molecular (AMC)
• Control de vapores orgánicos para procesos estables de fabricación de chips

4. Combinación Modular de Paredes Duras y Blandas

La estructura híbrida equilibra alta limpieza con distribución flexible del equipo. Los paneles modulares y perfiles de aluminio reforzado garantizan durabilidad a largo plazo.

Sistemas y Equipos Instalados (Ilustrativos)

• Distribución de FFU multi-zona para áreas de obleas, recubrimiento, exposición y grabado
• Sistema de filtración de alta eficiencia HEPA / ULPA
• Duchas de aire y pass boxes para transferencia segura de personal y materiales
• Sistema de monitoreo ambiental para partículas, presión, temperatura y humedad
• Sistema HVAC de alta presión estática que soporta operación 24/7

Por Qué Elegir Farclean para Proyectos de Salas Limpias de Semiconductores

• Más de 15 años de experiencia en ingeniería de salas limpias para la industria de semiconductores
• Servicios llave en mano completos: diseño → construcción modular → integración de sistemas → guía de puesta en marcha
• Soluciones personalizables según requisitos de proceso, limpieza y espacio
• Soporte documental y de cumplimiento para clientes globales